Vakuumkomponenten
Vakuumkomponenten
Vakuumkomponenten sind wichtige Teile der Vakuumtechnik. Dies sind alle Komponenten von Vakuumgeräten, die für die Montage von Vakuumleitungen notwendig sind, z. B. Flansche, Dichtungen und Rohrkomponenten (Bögen, T-Stücke, Kreuzungen usw.). Anwendungen in der Vakuumtechnik stellen hohe Anforderungen an die Materialauswahl sowie die Herstellung dieser Komponenten.
Verschiedene Anwendungsbereiche erfordern unterschiedliche Anschlussstandards, die auf verschiedenen Flanschsystmen basieren. Daher bietet EVERFIT TECHNOLOGY CO., LTD. (EFT
) Vakuumkomponenten aller wichtigen Standards an. Unser Produktsortiment umfasst eine große Auswahl an Standard-Vakuumkomponenten.
EFT
spezialisiert sich auch auf die Herstellung von Vakuumkomponenten nach Ihren genauen Anforderungen. Weitere detaillierte Informationen finden Sie auf den Produktseiten für maßgeschneiderte Vakuumkomponenten.
KF-Flansch-Serie
KF-Flansch-Serie
Der Kleinflansch oder KF-Standard (DIN 28403, ISO 2961) ist die Standardverbindung für Vakuumrohre bis zum Nenn-Durchmesser von DN50, die in niedrigem, feinem und hohem Vakuum verwendet werden. Eine Dichtung wird zwischen den Flanschen positioniert. Die Dichtung besteht aus einem Zentriering und dem darauf gestreckten O-Ring. Die Flansche werden durch eine Klemme zusammengehalten. Die Klemme hat eine geneigte Innenfläche, die der konischen Außenfläche der Flansche entspricht. In der Regel werden Zentrieringe und Standardklemmen mit Flügelmuttern verwendet. Sie ermöglichen eine schnelle und einfache Montage ohne Werkzeuge. Eingeklemmte Zentrieringe und spezielle Klemmen oder Klemmenketten werden für spezielle Anwendungen angeboten. Klausklemmen oder sogenannte Wandklemmen sind für die Wandmontage erhältlich.
ISO-Flansch-Serie
ISO-Flansch-Serie
ISO KF-Vakuumsysteme verwenden Komponenten mit metrischen Schnittstellendimensionen, die von der Internationalen Organisation für Normung (ISO) definiert wurden. Dies gewährleistet einen hohen Grad an Kompatibilität zwischen Komponenten, die aus verschiedenen Quellen bezogen werden. EFT Vakuum ISO KF sind mit Kleinflansch (KF)-Typen kompatibel. Verwenden Sie ISO KF für Rohrgrößen DN16 bis DN50. Unser Standardangebot an KF-Flanschen und -Fittings wird aus 304 (1.4301) Edelstahl hergestellt. Die maximale Temperatur für den Dauerbetrieb beträgt 150 °C. Sie sind ideal für Vakuumsysteme, die regelmäßige Montage und Demontage erfordern. Jede Vakuumdichtung wird durch Kompression eines O-Rings auf einem Zentrierring zwischen den passenden Flanschen hergestellt. Die Dichtung erfolgt in Sekunden. durch das Schließen einer Flügelmutter an der vollmetallischen, schwenkbaren Aluminiumklemme. Die ISO KF-Familie modularer Bausteinkomponenten umfasst alle gängig verwendeten Standardfittings, Durchführungen und Zubehör. Reduzierflansche sind erhältlich, um Komponenten unterschiedlicher Größe zu verbinden. Passende Flansche werden angeboten, um mit Rohr- und anderen Flanschsystemen, einschließlich LF und CF, zu interagieren.
CF-Flansch-Serie
CF-Flansch-Serie
Die Erzeugung von Ultrahochvakuum (UHV) stellt hohe Anforderungen an das Material und die Verbindungen. Daher wurde der CF-Standard in der UHV-Technologie (ISO 3669; Erweiterung ISO/TS 3669-2) geschaffen. CF-Flansche werden aus runden Rohlingen aus Edelstahl auf CNC-Maschinen hergestellt. Drehbare Flansche sind zweigeteilt und bestehen aus einem inneren Teil mit der Dichtfläche und einem äußeren Teil mit den Bolzenlöchern. CF-Flansche haben eine ringförmige Nut auf der Vakuumseite zur Aufnahme der Dichtung und eine Schneidkante. EFT bietet CF-Flansche und Komponenten der Größen DN10 bis DN250 gemäß der Vor-Norm ISO/TS 3669-2 an. Bitte beachten Sie, dass auch individuelle Standards von Institutionen auf dem Markt erhältlich sind. Bitte fügen Sie die Hilfsmaße hinzu. (DN25, DN50, DN75, DN125) im Falle von Anfragen und Angeboten für CF-Flansche und Komponenten. Bitte geben Sie außerdem die Größe und die Anzahl der benötigten Bolzen sowie die erforderliche Kupferdichtung für Größen ab DN250 an. EFT folgt der weit verbreiteten Konvention, verschiedene Größen von UHV-Flanschen durch die Verwendung einer ‚DN‘-Spezifikation zu kategorisieren. ‚DN‘ ist das Akronym des französischen Begriffs ‚Diamètre nominal‘, was ‚Nennbohrung‘ bedeutet. Die erwähnte Bohrung ist die des Rohres, das in den vorgesehenen Flansch passt. Die Bohrung ist ‚nominell‘ aufgrund der Variation in der Wandstärke des Rohres.
Bellows-Serie
Bellows-Serie
EFT 304 (1.4301) Edelstahlrohr ist für alle Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen geeignet. Das Material wird pro Meter berechnet. EFT freut sich, diese Reihe von kantenverschweißten Balgverbindern für UHV vorzustellen. Diese ermöglichen seitliche Bewegung, Off-Achsen-Bewegung und Vibrationsisolierung. Unsere Bälge werden mit vier Standardanschlüssen, schweißbaren CF- oder ISO-KF- und LF-Flanschen, angeboten und nach den höchsten Sauberkeitsstandards für UHV-Anwendungen hergestellt. Alle Bälge bestehen aus Edelstahl der Klasse AM350 mit Anschlüssen aus SS304-Material. Spezielle Balgbaugruppen und maßgeschneiderte Fertigungen sind ebenfalls auf Anfrage erhältlich.
Anpassungsserie
Anpassungsserie
Die ISO KF- und ISO LF-Rohrverbindungen von EFT sind praktische Bausteine. Sie bieten große Flexibilität bei der Planung und Konstruktion von Hochvakuumsystemen. Alle Verbindungen sind aus 304 Edelstahl-Rohrmaterial gefertigt, das gezogen und geschweißt wurde. Flansche müssen nicht drehbar sein, da sie vollständig symmetrisch sind. Auf Wunsch können drehbare Bolzenringbaugruppen an bestehenden Klauenklemmenflanschen nachgerüstet werden, um Bolzenlöcher zu ISO LF-Verbindungen hinzuzufügen. Reduzierstücke werden verwendet, um die Größe der Flansche innerhalb einer einzigen Dichtungsmethode zu ändern, wie z.B. die Elastomerdichtung von ISO KF- und LF-Flanschen. Benutzerdefinierte Konfigurationen auf Anfrage verfügbar
Adapterserie
Adapterserie
EFT Hybridadapter bieten einen Übergang von einer Dichtungsmethode zur anderen. Das hybride Merkmal dieser Adapter besteht darin, dass die Geometrien an jedem Ende eines Bauteils unterschiedlich sind. Dies ist mehr als nur eine Größenänderung innerhalb einer bestimmten Dichtungsmethode. Sie sind in den meisten gängigen Schnittstellenübergangspaaren erhältlich. Es gibt zwei Hauptkategorien von Adaptern: die eine kombiniert Paare von Standard-Vakuumflanschen und die andere kombiniert Standardanschlüsse mit Flanschen. Ein häufiger Übergang ist von einem Metall-Dichtflansch zu einem O-Ring-dichtenden Flansch oder Anschluss. Die Spezifikationen sind im Allgemeinen durch die Einführung einer O-Ring-Dichtung eingeschränkt und umfassen mindestens eine nichtmetallische Dichtung und sind daher auf Hochvakuumanwendungen beschränkt. Beziehen Sie sich auf die einzelnen Komponentenabschnitte für die Spezifikationen. Reduzierungen sind eine Größenänderung innerhalb einer bestimmten Flanschdichtungsmethode, wie z.B. Metalldichtung zu Metalldichtung. Reduzierungen innerhalb einer bestimmten Dichtungsmethode finden Sie im Fittings-Bereich jedes Flanschabschnitts. Benutzerdefinierte Konfigurationen auf Anfrage verfügbar
Winkelventilserie
Winkelventilserie
Unsere Vakuumwinkelventile sind speziell für den Einsatz in Halbleiter-Vakuumsystemen konzipiert und bieten hervorragende Dichtungsleistung, geringe Partikelerzeugung und hohe Haltbarkeit. Sie bestehen aus hochwertigem Edelstahl und sind ideal für kritische Prozesse wie CVD, PVD und Ätzen. Verfügbar in sowohl manuellen als auch pneumatischen Ausführungen unterstützen unsere Ventile ISO-KF- und ISO-F-Flansche und gewährleisten die Kompatibilität mit standardmäßigen Vakuumgeräten. Alle Ventile werden unter Vakuumbedingungen getestet, um einen stabilen Betrieb und eine lange Lebensdauer in Reinraumbedingungen zu garantieren. Mit präzisem Design und hochwertiger Materialauswahl sind unsere Winkelventile eine zuverlässige Wahl zur Aufrechterhaltung von Reinheit und Leistung in der fortschrittlichen Halbleiterfertigung.
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