真空コンポーネント
真空コンポーネント
真空コンポーネント
真空部品は真空技術の重要な部分です。これらは真空ラインの組み立てに必要な真空機器のすべての部品であり、フランジ、シール、チューブ部品（エルボ、ティー、クロスなど）を含みます。真空技術における応用は、これらの部品の材料選定や製造に対して高い要求をします。
さまざまな用途には、異なるフランジシステムに基づく異なる接続規格が必要です。したがって、EVERFIT TECHNOLOGY CO., LTD. (EFT
) は、すべての重要な規格の真空コンポーネントを提供しています。私たちの製品ラインは、標準の真空コンポーネントの広範な選択をカバーしています。
EFT
は、お客様の正確な要件に応じた真空部品の製造も専門としています。詳細な情報は真空カスタムコンポーネントの製品ページをご覧ください。
KFフランジシリーズ
KFフランジシリーズ
小フランジまたはKF標準（DIN 28403、ISO 2961）は、低真空、微細真空、高真空で使用されるDN50の公称直径までの真空パイプの標準接続です。 シールはフランジの間に配置されます。シールはセンタリングリングとその上に伸ばされたOリングで構成されています。フランジはクランプによって一緒に保持されます。クランプは、フランジの円錐形外面に適した傾斜した内面を持っています。 通常、センタリングリングと標準クランプはウイングナットと共に使用されます。これにより、工具なしで迅速かつ簡単に組み立てることができます。特別なアプリケーションには、トラップされたセンタリングリングと特別なクランプまたはクランプチェーンが提供されます。 クロークランプまたはいわゆるバルクヘッドクランプは、壁取り付け用に利用可能です。
ISOフランジシリーズ
ISOフランジシリーズ
ISO KF真空システムは、国際標準化機構（ISO）によって定義されたメトリックインターフェース寸法を持つコンポーネントを使用しています。これにより、異なるソースから取得したコンポーネント間の高い互換性が確保されます。 EFT Vacuum ISO KFはKlein Flange (KF)タイプと互換性があります。DN16からDN50のチューブサイズにはISO KFを使用してください。私たちの標準的なKFフランジとフィッティングは、304（1.4301）ステンレス鋼から製造されています。 持続的な使用の最大温度は150°Cです。これらは、定期的な組み立てと分解を必要とする真空システムに最適です。各真空シールは、対合フランジ間のセンタリングリング上にOリングを圧縮することによって作られます。シールは数秒で作成されます。 全金属製のヒンジ付きアルミニウムクランプのウイングナットを指で締めることによって。 ISO KFモジュラービルディングブロックコンポーネントファミリーには、一般的に使用される標準フィッティング、フィードスルー、およびアクセサリーがすべて含まれています。異なるサイズのコンポーネントを接続するための縮小フランジが利用可能です。 対合フランジは、パイプやLFおよびCFを含む他のフランジシステムとインターフェースするために提供されます。
CFフランジシリーズ
CFフランジシリーズ
超高真空（UHV）の生成は、材料と接続に大きな要求をします。したがって、CF規格がUHV技術（ISO 3669; 拡張ISO/TS 3669-2）で作成されました。 CFフランジは、CNC機械でステンレス鋼の円形ブランクから製造されます。回転可能なフランジは二部構成で、シール面を持つ内側の部分とボルト穴を持つ外側の部分から成ります。 CFフランジは、ガスケットを受け取るための真空側に環状の溝とナイフエッジを持っています。 EFT は、ISO/TS 3669-2の事前規格に従って、DN10からDN250のサイズのCFフランジとコンポーネントを提供します。市場には、機関の個別の規格も存在することを考慮してください。補助寸法を追加してください。 （DN25、DN50、DN75、DN125）CFフランジとコンポーネントのリクエストやオファーの場合は、必要なボルトのサイズと数、およびDN250以上の寸法に必要な銅ガスケットを追加してください。 EFT は、異なるサイズのUHVフランジを「DN」仕様を使用して分類する広く使用されている慣習に従っています。「DN」は、フランス語の「Diamètre nominal」の略で、「公称径」と訳されます。ここで言及されている径は、指定されたフランジの内部にフィットするチューブの径です。この径は、チューブの壁の厚さの変動により「公称」とされています。
ベローシリーズ
ベローシリーズ
EFT 304 (1.4301) ステンレス鋼チューブは、すべての高真空および超高真空アプリケーションに適しています。材料はメートル単位で価格が設定されています。 EFT は、UHV用のエッジ溶接ベローズコネクタのこの範囲を紹介できることを嬉しく思います。 これにより、横方向の動き、軸外の動き、および振動の隔離が可能になります。 当社のベローズは、4つの標準フィッティング（溶接可能なCFまたはISO KFおよびLFフランジ）を備えており、UHVアプリケーションのために最高の清浄度基準で製造されています。すべてのベローズは、SS304材料のコネクタを使用してAM350ステンレス鋼グレードで構成されています。 特注のベローズアセンブリやカスタム製作もリクエストに応じて提供可能です。
フィッティングシリーズ
フィッティングシリーズ
EFT のISO KFおよびISO LFチューブフィッティングは、便利なビルディングブロックコンポーネントです。これらは、高真空システムの設計と構築において大きな柔軟性を提供します。すべてのフィッティングは、304ステンレス鋼から引き抜かれ、溶接された真空チューブで製造されています。フランジは完全に対称であるため、回転可能である必要はありません。必要に応じて、回転可能なボルトリングアセンブリを既存のクロークランプスタイルのフランジに取り付けて、ISO LFフィッティングにボルト穴を追加することができます。リデューサーは、ISO KFおよびLFフランジのエラストマーシールなど、単一のシーリング方法内でフランジのサイズを変更するために使用されます。 リクエストに応じたカスタム設定が可能です。
アダプターシリーズ
アダプターシリーズ
EFT ハイブリッドアダプタは、あるシール方法から別の方法への移行を提供します。これらのアダプタのハイブリッド機能は、任意のコンポーネントの両端の形状が異なることです。 これは特定のシール方法内でのサイズの変更以上のものです。 ほとんどの一般的なインターフェース遷移ペアで利用可能です。 アダプタには2つの主要なカテゴリがあります：1つは標準真空フランジのペアを組み合わせ、もう1つは標準フィッティングとフランジを組み合わせます。 一般的な遷移は、金属シールフランジからOリングシールフランジまたはフィッティングへのものです。仕様は一般的にOリングシールの導入によって制限され、少なくとも1つの非金属シールを含むため、高真空用途に制限されます。 仕様については各コンポーネントセクションを参照してください。リデューサーは、金属シールから金属シールなど、特定のフランジシーリング方法内でのサイズの変更です。特定のシーリング方法内のリデューサーは、各フランジセクションのフィッティング部分にあります。 リクエストに応じたカスタム設定が可能です。
アングルバルブシリーズ
アングルバルブシリーズ
当社の真空角弁は、半導体真空システムでの使用を目的に特別に設計されており、優れたシール性能、低い粒子生成、高い耐久性を提供します。高品質のステンレス鋼で作られており、CVD、PVD、エッチングなどの重要なプロセスに最適です。 手動および空気圧タイプの両方で利用可能な当社のバルブは、ISO-KFおよびISO-Fフランジをサポートしており、標準の真空機器との互換性を確保しています。すべてのバルブは真空条件下でテストされており、クリーンルーム環境での安定した動作と長寿命を保証します。 精密な設計と優れた材料選択により、当社の角バルブは先進的な半導体製造において純度と性能を維持するための信頼できる選択肢です。
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