真空角閥Angle Valve

真空角閥Angle Valve

真空角閥Angle Valve

本公司研發製造的半導體用角閥，專為真空系統與潔淨應用設計，廣泛應用於半導體製程設備中。閥體採用高純度不銹鋼材質製成，具備優異的耐腐蝕性與氣密性，有效降低粒子與污染風險。產品符合ISO與SEMI相關標準，並可搭配ISO-KF、ISO-F等真空法蘭。驅動方式包含手動與氣動型，可依設備需求選擇，提供穩定且高壽命的開關性能。適用於蝕刻、鍍膜、CVD、PVD等關鍵製程。