真空角阀Angle Valve

真空角阀Angle Valve

真空角阀Angle Valve

本公司研发制造的半导体用角阀，专为真空系统与洁净应用设计，广泛应用于半导体制程设备中。阀体采用高纯度不锈钢材质制成，具备优异的耐腐蚀性与气密性，有效降低粒子与污染风险。产品符合ISO与SEMI相关标准，并可搭配ISO-KF、ISO-F等真空法兰。驱动方式包含手动与气动型，可依设备需求选择，提供稳定且高寿命的开关性能。适用于蚀刻、镀膜、CVD、PVD等关键制程。