진공 부품
진공 부품
진공 부품
진공 구성 요소는 진공 기술의 중요한 부분입니다. 이들은 진공 라인의 조립에 필요한 진공 장비의 모든 구성 요소로, 예를 들어 플랜지, 씰 및 튜브 구성 요소(엘보, 티, 크로스 등)가 포함됩니다. 진공 기술의 응용은 이러한 구성 요소의 재료 선택 및 제작에 대해 높은 요구 사항을 가지고 있습니다.
다양한 응용 분야는 서로 다른 플랜지 시스템에 기반한 다양한 연결 표준을 요구합니다. 따라서, EVERFIT TECHNOLOGY CO., LTD. (EFT
)는 모든 중요한 표준의 진공 부품을 제공합니다. 우리의 제품 범위는 방대한 선택의 표준 진공 부품을 포함합니다.
EFT
는 귀하의 정확한 요구 사항에 맞춘 진공 부품 제조에도 전문화되어 있습니다. 진공 맞춤 부품 제품 페이지에서 더 자세한 정보를 확인하십시오.
KF 플랜지 시리즈
KF 플랜지 시리즈
소형 플랜지 또는 KF 표준(DIN 28403, ISO 2961)은 저압, 미세 및 고압 진공에서 사용되는 DN50의 공칭 직경까지의 진공 파이프에 대한 표준 연결입니다. 씰은 플랜지 사이에 위치합니다. 씰은 중심 링과 그 위에 늘어난 O-링으로 구성됩니다. 플랜지는 클램프에 의해 함께 고정됩니다. 클램프는 플랜지의 원뿔형 외부 표면에 적합한 경사진 내부 표면을 가지고 있습니다. 일반적으로 중심 링과 표준 클램프는 윙 너트와 함께 사용됩니다. 이들은 도구 없이 빠르고 쉽게 조립할 수 있게 해줍니다. 특별한 응용을 위해 트랩 중심 링과 특수 클램프 또는 클램프 체인이 제공됩니다. 벽 장착을 위한 클로 클램프 또는 이른바 벌크헤드 클램프가 제공됩니다.
ISO 플랜지 시리즈
ISO 플랜지 시리즈
ISO KF 진공 시스템은 국제 표준 기구(ISO)에서 정의한 미터법 인터페이스 치수를 가진 구성 요소를 사용합니다. 이는 서로 다른 출처에서 얻은 구성 요소 간의 높은 호환성을 보장합니다. EFT 진공 ISO KF는 Klein Flange (KF) 유형과 호환됩니다. DN16에서 DN50까지의 튜브 크기에 ISO KF를 사용하십시오. 우리의 표준 KF 플랜지 및 피팅은 304 (1.4301) 스테인리스 스틸로 제조됩니다. 지속 사용을 위한 최대 온도는 150°C입니다. 이들은 정기적인 조립 및 분해가 필요한 진공 시스템에 이상적입니다. 각 진공 씰은 맞물리는 플랜지 사이의 중심 링에 O-링을 압축하여 만들어집니다. 씰은 몇 초 만에 만들어집니다. 모든 금속 힌지 알루미늄 클램프의 윙 너트를 손가락으로 잠가서. ISO KF 모듈형 빌딩 블록 구성 요소는 일반적으로 사용되는 표준 피팅, 피드스루 및 액세서리를 포함합니다. 서로 다른 크기의 구성 요소를 연결하기 위해 축소 플랜지가 제공됩니다. 맞물리는 플랜지는 파이프 및 LF, CF를 포함한 다른 플랜지 시스템과 인터페이스하기 위해 제공됩니다.
CF 플랜지 시리즈
CF 플랜지 시리즈
초고진공(UHV) 생성은 재료와 연결에 큰 요구를 합니다. 따라서 CF 표준이 UHV 기술(ISO 3669; 향상된 ISO/TS 3669-2)에서 만들어졌습니다. CF 플랜지는 스테인리스 스틸의 원형 블랭크로 CNC 기계에서 제조됩니다. 회전 가능한 플랜지는 이원으로 구성되어 있으며, 내부 부분은 씰 면을 가지고 있고 외부 부분은 볼트 구멍을 가지고 있습니다. CF 플랜지는 진공 측에 가스켓을 수용하기 위한 원형 홈과 칼날 모서리가 있습니다. EFT 는 ISO/TS 3669-2의 사전 규격에 따라 DN10에서 DN250까지의 CF 플랜지 및 구성 요소를 제공합니다. 개별 기관의 표준도 시장에서 이용 가능하다는 점을 고려해 주십시오. 보조 치수를 추가해 주십시오. CF 플랜지 및 구성 요소의 요청 및 제안 시 (DN25, DN50, DN75, DN125) 치수를 추가해 주십시오. 또한 DN250 이상의 치수에 필요한 볼트의 크기와 수량, 필요한 구리 가스켓을 추가해 주십시오. EFT 는 다양한 크기의 UHV 플랜지를 ‘DN’ 사양을 사용하여 분류하는 널리 사용되는 관례를 따릅니다. ‘DN’은 프랑스어 용어 ‘Diamètre nominal’의 약어로, ‘명목상 구경’으로 번역됩니다. 여기서 언급된 구경은 지정된 플랜지 안에 들어가는 튜브의 구경입니다. 구경은 튜브 벽 두께의 변동으로 인해 ‘명목상’입니다.
벨로우 시리즈
벨로우 시리즈
EFT 304 (1.4301) 스테인리스 스틸 튜브는 모든 고진공 및 초고진공 응용 분야에 적합합니다. 이 재료는 미터당 가격이 책정됩니다. EFT 는 UHV를 위한 이 엣지 용접 벨로우즈 커넥터 범위를 선보이게 되어 기쁩니다. 이들은 측면 이동, 축 이탈 이동 및 진동 격리를 허용합니다. 우리의 벨로우즈는 UHV 애플리케이션을 위해 가장 높은 청결 기준으로 제조되며, 네 가지 표준 장착 방식인 용접 가능한 CF 또는 ISO KF 및 LF 플랜지와 함께 제공됩니다. 모든 벨로우즈는 SS304 재질의 커넥터와 함께 AM350 등급의 스테인리스 스틸로 제작됩니다. 특수 벨로우스 조립체 및 맞춤 제작도 요청 시 가능합니다.
피팅 시리즈
피팅 시리즈
EFT 의 ISO KF 및 ISO LF 튜브 피팅은 편리한 빌딩 블록 구성 요소입니다. 이들은 고진공 시스템의 설계 및 구축에서 큰 유연성을 제공합니다. 모든 피팅은 304 스테인리스 스틸로 제작된 진공 튜빙으로 제작됩니다. 플랜지는 완전히 대칭이기 때문에 회전할 필요가 없습니다. 원할 경우, 회전 가능한 볼트 링 조립체를 기존의 클로 클램프 스타일 플랜지에 개조하여 ISO LF 피팅에 볼트 구멍을 추가할 수 있습니다. 리듀서는 ISO KF 및 LF 플랜지의 엘라스토머 씰링과 같은 단일 씰링 방법 내에서 플랜지의 크기를 변경하는 데 사용됩니다. 요청 시 맞춤 구성 가능합니다.
어댑터 시리즈
어댑터 시리즈
EFT 하이브리드 어댑터는 한 sealing 방법에서 다른 방법으로의 전환을 제공합니다. 이러한 어댑터의 하이브리드 기능은 각 구성 요소의 양 끝에서의 기하학적 형태가 다르다는 것입니다. 이는 특정 sealing 방법 내에서의 크기 변화 이상입니다. 대부분의 일반적인 인터페이스 전환 쌍에서 사용할 수 있습니다. 어댑터에는 두 가지 주요 범주가 있습니다: 하나는 표준 진공 플랜지 쌍을 결합하고, 다른 하나는 표준 피팅과 플랜지를 결합합니다. 빈번한 전환은 금속 씰 플랜지에서 O-링 씰 플랜지 또는 피팅으로의 전환입니다. 사양은 일반적으로 O-링 씰의 도입으로 제한됩니다. 최소한 하나의 비금속 씰을 포함해야 하며, 따라서 고진공 응용 분야로 제한됩니다. 사양에 대한 개별 구성 요소 섹션을 참조하십시오. 리듀서는 금속 씰에서 금속 씰로와 같은 특정 플랜지 밀봉 방법 내에서 크기의 변화입니다. 특정 밀봉 방법 내의 리듀서는 각 플랜지 섹션의 피팅 부분에서 찾을 수 있습니다. 요청 시 맞춤 구성 가능합니다.
앵글 밸브 시리즈
앵글 밸브 시리즈
우리의 진공 앵글 밸브는 반도체 진공 시스템에서 사용하기 위해 특별히 설계되었으며, 우수한 밀봉 성능, 낮은 입자 발생, 높은 내구성을 제공합니다. 고급 스테인리스 스틸로 제작되어 CVD, PVD 및 에칭과 같은 중요한 공정에 적합합니다. 수동 및 공압 유형 모두에서 사용할 수 있는 당사의 밸브는 ISO-KF 및 ISO-F 플랜지를 지원하여 표준 진공 장비와의 호환성을 보장합니다. 모든 밸브는 진공 조건에서 테스트되어 클린룸 환경에서 안정적인 작동과 긴 서비스 수명을 보장합니다. 정밀한 설계와 우수한 재료 선택으로, 우리의 앵글 밸브는 첨단 반도체 제조에서 순도와 성능을 유지하는 신뢰할 수 있는 선택입니다.
